// Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectometry (ToF-SIMS)
The time-of-flight mass spectrometry of secondary ions is a materials characterization method which delivers laterally resolved depth profiles. Our TOF.SIMS 5 device made by IONTOF can be used to detect all elements of the periodic table.
- Detection of trace elements up to a concentration of few ppm
- Mass resolution of 12,000 which allows for a differentiation between O2 and S
- 3D depth profiling in the micrometer range with a maximal lateral resolution of 200 nm (matrix elements)
- Quantification of the depth profiles via reference samples
- Detection of entire organic modules or their fractions, masses of up to 10,000 u
- Measurement of non-conductive materials by way of charge compensation
- Measurement of mobile ions with a chilled sample holder and soft sputtering sources
- Handling of samples which are sensitive to air or water
Die Flugzeitmassenspektrometrie sekundärer Ionen ist eine Analysemethode, die lateral aufgelöste Tiefenprofile ermöglicht. Mit unserem Gerät TOF.SIMS 5 der Fa. IONTOF können alle Elemente des Periodensystems detektiert werden.
- Erfassen von Spurenelementen bis zu einer Konzentration von wenigen ppm
- Massenauflösung von 12.000, was eine Unterscheidung von O2 zu S ermöglicht
- 3D-Tiefenprofilierung im Mikrometerbereich mit einer maximalen lateralen Auflösung von 200 nm (Matrixelemente)
- Quantifizierung der Tiefenprofile über Referenzproben
- Detektion ganzer organischer Moleküle oder ihrer Fraktionen, Massen bis 10.000 u
- Messung isolierender Materialien über Ladungskompensation
- Messung mobiler Ionen durch gekühlten Probenhalter und sanfte Sputterquellen
- Probenhandling von luft- oder wasserempfindlichen Proben
Mehr Informationen zu unseren Methoden der Materialcharakterisierung finden Sie hier.
